真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械

真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械


真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械特点： 
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列
双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘
相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供较优的手指



真空3轴晶圆搬送机械臂基本参数：
使用环境                   洁净间内的大气环境真空
手臂                         单臂
到达距离                   640mm (手臂*3关节中心到达距离)
升降轴较大行程         60mm
可搬运质量                10kg (手臂*3关节处基准)



了解更多/wafer_transfer_robot/



真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械相关产品：
衡鹏供应
防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂
5轴水平多关节型晶圆搬运机械手