5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂

5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂


5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂特点： 
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能
适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）
或者3个FOUP（280mm臂长）
双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用**值编码器规格的AC伺服电机
通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化
能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供较优的手指


5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂基本参数：
使用环境                          洁净间内的大气环境
手臂                                 单臂
到达距离                           553mm (手臂*3关节中心到达距离)
升降轴较大行程                 300mm / 400mm / 500mm
可搬运质量                       4kg (手臂*3关节处基准)


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