【晶圆搬运机械手臂】带有防水结构,能快速搬运晶圆 晶圆搬运机械手臂特点: 晶圆搬运机械手臂SWCR3000系列 在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下,能够在酸性,碱性环境下搬运半导体晶圆 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条 Z轴的防水结构可以使用蛇腹管 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 全轴采用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速,搬运半导体晶圆 晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供手指 晶圆搬运机械手基本参数: 使用环境 洁净间内的大气环境 手臂 单臂 到达距离 312mm (手臂*3关节中心到达距离) 升降轴MAX行程 200mm / 300mm 可搬运质量 3kg以下 (手臂*3关节处基准) 了解更多/wafer_transfer_robot/ 晶圆搬运机械手臂相关产品: 衡鹏供应 防水式/真空3轴晶圆搬运机械臂 防水式/水平多关节型4晶圆搬运机械手臂 5轴水平多关节型晶圆搬运机械手